Model 760 低真空压/ 绝对压力测量
可应用于：
半导体过程工具和装置
实验室和研究开发
实验和测量
分析化学系统
Model 760 绝对压力变送器中高精度的压力传感元件Vactronsensor, 是在Setra 技术可变电容
传感技术基础上发展来的。在敏感元件中央有一个馈入装置组件支持一个邻近膜片后表面的
圆电极。电极和膜片在一个低压接近真空的空间内组成了一个可变电容。这一电容的变化被
Setra 的集成电路检测并被转换成高精度的线性直流信号，该集成电路是根据西特
技术负荷平衡原理设计的。Model 760 绝对压力变送器采用的传感设计获得了的零点稳定性和大气
压非敏感性。Model760 绝对压力变送器包含了不易脆的或合成的部件，形成了与陶瓷式结构相似的
电容式压力计。
Setra Model 760 绝对压力变送器是为准确的、可重复的真空测量而设计的压力传感器。满量程 范围从10Torr 到1000Torr。测量单位可以是Torr, mbar/hpa, kpa 或psia。Model760 的 工作电压是 15VDC, 输出0-10VDC 或0-5VDC, 输出与压力成线性关系，而且与气体成分 无关。电气连接件可以是工业标准15 针D 型插座或6 位接线端子板。采用金属外壳、巨涌 和ESD 抑制元件以及输入输出的RFI 过滤等技术，Model 760 绝对压力变送器具有的EMI/RFI 性能。 Model 760 绝对压力变送器有一个完整的滑面，很容易提供有准确的零点调节和量程调节的多匝电位计。 Inconel 材质适用于全部湿原料所以可测量腐蚀性气体，另外可提供不同类型的压力和真 空接头
产品性能参数
| 精度 | ±0.25%Reading,±0.15% Reading |
|---|---|
| 分辨率 | 无限，仅受输出噪声的限制(0.01%FS) |
| 补偿范围 | 0 ～ +50℃ (+32 ～ +122 0F) |
| 零点偏移 | ±0.005%FS/℃ ( 0.01% FS/ 0F) |
| 量程偏移 | ±0.02%RDG/℃ |
| 长期稳定性 | ±0.5%FS/ 年 |
| 响应时间 | 20ms |
